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高端光學制造服務
光學鍍膜

國科精密具有超精密光學元件薄膜設計、制備與測試能力, 可提供紫外-紅外波段的熱蒸發與離子束濺射光學鍍膜,可特別滿足超精密光學元件(例如面形精度優于1nm)與紫外應用的鍍膜需求。 


制造能力

普通元件:Φ500mm;

超精密光學元件(面形精度優于λ/30)/濾光片(復雜光譜指標需求):Φ500mm;

特色產品:紫外/深紫外(115~350nm)濾光片/光學元件定制鍍膜。

鍍膜工藝及輔助設備

熱蒸發/IAD(萊寶、光馳)、離子束濺射(Veeco)、大口徑元件超聲清洗機(Φ300)

膜系設計

Macleod、Optilayer、Filmstar等軟件,可實現復雜膜系設計;自研膜厚均勻性分析軟件,滿足大口徑曲面膜厚均勻性校正要求。

薄膜檢測

光學指標:分光光度計(Cary7000、Lambda1050)、橢偏儀(VASE、RC2 )、激光量熱儀;

表面質量檢測:光學顯微鏡、白光干涉儀、原子力顯微鏡;

其它指標:X射線衍射儀、膜厚儀;

力學性能/環境適應性測試:薄膜應力儀、薄膜附著力檢測、環境實驗(高溫、鹽霧等)。

光學鍍膜


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